干法烟气衬胶管道脱硫工艺中，关键的控制参数都是反应区内，即反应器及其后的除尘器内的烟气温度。在相对湿度为4050时，消石灰活性增强，能够有效地吸收二氧化硫。烟气的相对湿度是利用给烟气内喷水的方法提高的。在传统的干法烟气衬胶管道脱硫工艺中，水和石灰是以浆液的状态（不论是否循环）注入烟气的，但水分布在粉料粒的表面，水在其中的含量仅占百分之几。这样，吸收剂的循环量比传统干法烟气衬胶管道脱硫要高得多。即，用于蒸发的表面积大。进入烟气的粉料的干燥时间短，所以它可以采用比传统喷雾干燥技术小得多的反应器。提高了烟气的相对湿度，足以在典型的干法衬胶管道脱硫制作温度或高于饱和温度10℃~20℃（实践中这一温度范围是65℃~75℃）石灰吸收剂二氧化硫。
水在增湿搅拌机中加入吸收剂，然后才注入烟气。半干法技术的独到之处是所有的循环吸收剂都要在搅拌机中增湿，这样做，可以大限度的利用循环吸收剂。经过和干燥之后，烟气中干燥的循环粉料在的除尘器，好是袋式除尘器中被分离出来，进入搅拌机，补充石灰也是在这里加入的。注入搅拌机的水量要保证恒定的烟出口温度。控制系统以烟气的出入口温度为基础，以烟气量为辅助，采用前馈号控制，并有反馈调。出口的SO2也采用类似的方法进行控制：入口和出口的SO2浓度加上烟气流量决定石灰的加入速率。副产品收集在除尘器灰斗内，当达到回斗的高料位时，副产品溢流排出。
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